| フルテキストURL | フルテキストリンクなし |
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| タイトル | Investigations on hydrobromination of silicon in the presence of silicon carbide abrasives as a purification route of kerf loss waste |
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| 作成者 | Tomono, Kazuaki
Furuya, Hirotoshi
Miyamoto, Seiji
Okamura, Yuki
Sumimoto, Michinori
Sakata, Yoshihisa
Komatsu, Ryuichi
Nakayama, Masaharu
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| 作成者ヨミ | トモノ, カズアキ
フルヤ, ヒロトシ
ミヤモト, セイジ
オカムラ, ユウキ
スミモト, ミチノリ
サカタ, ヨシヒサ
コマツ, リュウイチ
ナカヤマ, マサハル
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| 作成者別表記 | 友野, 和哲
隅本, 倫徳
酒多, 喜久
小松, 隆一
中山, 雅晴
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| 作成者所属 | 山口大学大学院理工学研究科（工学）
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| 本文言語 | eng
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| 著者キーワード | silicon
silicon carbide
kerf loss
hydrobromination
gas chromatography
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| 資料タイプ | text |
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| 出版者 | Elsevie
Elsevier Sciencer
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| NII資料タイプ | 学術雑誌論文 |
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| ISSN | 1383-5866
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| NCID | AA11136087
AA11529807
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| 掲載誌名 | Separation and purification technology |
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| 巻 | 103 |
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| 開始ページ | 109 |
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| 終了ページ | 113 |
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| 発行日 | 2013-01-15 |
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| DOI | info:doi/10.1016/j.seppur.2012.10.031 |
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| 関連情報URL(IsPartOf) | http://www.sciencedirect.com/science/journal/13835866
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| 著者版/出版社版 | その他 |
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| リポジトリID | 2012011196 |
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| 地域区分 | 山口大学
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| URI | http://www.lib.yamaguchi-u.ac.jp/yunoca/handle/2012011196 |
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