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タイトルInvestigations on hydrobromination of silicon in the presence of silicon carbide abrasives as a purification route of kerf loss waste
作成者Tomono, Kazuaki
Furuya, Hirotoshi
Miyamoto, Seiji
Okamura, Yuki
Sumimoto, Michinori
Sakata, Yoshihisa
Komatsu, Ryuichi
Nakayama, Masaharu
作成者ヨミトモノ, カズアキ
フルヤ, ヒロトシ
ミヤモト, セイジ
オカムラ, ユウキ
スミモト, ミチノリ
サカタ, ヨシヒサ
コマツ, リュウイチ
ナカヤマ, マサハル
作成者別表記友野, 和哲
隅本, 倫徳
酒多, 喜久
小松, 隆一
中山, 雅晴
作成者所属山口大学大学院理工学研究科(工学)
本文言語eng
著者キーワードsilicon
silicon carbide
kerf loss
hydrobromination
gas chromatography
資料タイプtext
出版者Elsevie
Elsevier Sciencer
NII資料タイプ学術雑誌論文
ISSN1383-5866
NCIDAA11136087
AA11529807
掲載誌名Separation and purification technology
103
開始ページ109
終了ページ113
発行日2013-01-15
DOIinfo:doi/10.1016/j.seppur.2012.10.031
関連情報URL(IsPartOf)http://www.sciencedirect.com/science/journal/13835866
著者版/出版社版その他
リポジトリID2012011196
地域区分山口大学
URIhttp://www.lib.yamaguchi-u.ac.jp/yunoca/handle/2012011196