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タイトルドライプロセスによるITO粉の合成とそれを用いて作製したITOターゲットのライフ特性
タイトルヨミドライ プロセス ニヨル ITO フン ノ ゴウセイ ト ソレオ モチイテ サクセイ シタ ITO ターゲット ノ ライフ トクセイ
タイトル別表記Synthesis of ITO powder by dry process and lifetime characteristics of the ITO target fabricated with its powder
作成者髙橋, 誠一郎
伊東, 洋典
小松, 隆一
作成者ヨミタカハシ, セイイチロウ
イトウ, ヒロノリ
コマツ, リュウイチ
作成者別表記Takahashi, S.
Itoh, H.
Komatsu, R.
作成者所属山口大学大学院理工学研究科(工学)
本文言語jpn
著者キーワードITO
スパッタリングターゲット
ターゲットライフ
乾式合成
炭素濃度
ITO粉
Sputtering target
Target lifetime
Dry synthesis
Carbon concentration
ITO powder
資料タイプtext
出版者電気学会
出版者ヨミデンキ ガッカイ
NII資料タイプ学術雑誌論文
ISSN0385-4221
NCIDAN10065950
掲載誌名電気学会論文誌. C, 電子・情報・システム部門誌
掲載誌名別表記The transactions of the Institute of Electrical Engineers of Japan. C, A publication of Electronics, Information and Systems Society
132
1
開始ページ77
終了ページ82+8
発行日2012
DOIinfo:doi/10.1541/ieejeiss.132.77
関連情報URL(IsPartOf)http://www.scopus.com/inward/record.url?eid=2-s2.0-84856764988&partnerID=40&md5=9da99a00e217f4b952ac1f94e5af9fa2
著者版/出版社版その他
リポジトリID2011010368
地域区分山口大学
URIhttp://www.lib.yamaguchi-u.ac.jp/yunoca/handle/2011010368