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タイトルエキシマレーザ・アニールで作製した多結晶シリコン膜のディスク状結晶粒 : a-Si膜中の水素の影響
タイトルヨミエキシマ レーザ アニール デ サクセイ シタ タケッショウ シリコン マク ノ ディスク ジョウ ケッショウリュウ a-Si マク チュウ ノ スイソ ノ エイキョウ
タイトル別表記Disk-Shaped crystal grain in poly-si film prepared by excimer laser annealing : Influence of hydrogen in a-Si Film
作成者部家, 彰
河本, 直哉
松尾, 直人
作成者ヨミヘヤ, アキラ
カワモト, ナオヤ
マツオ, ナオト
作成者別表記Heya, Akira
Kawamoto, Naoya
Matsuo, Naoto
作成者所属山口大学工学部
本文言語jpn
著者キーワードdisk-shaped grain
textured grain
hydrogen
excimer laser annealing
polycrystal silicon
資料タイプtext
出版者日本金屬學會
出版者ヨミニホン キンゾク ガッカイ
NII資料タイプ学術雑誌論文
ISSN0021-4876
1880-6880
NCIDAN00062446
AA1204177X
掲載誌名日本金屬學會誌
掲載誌名別表記The Journal of the Japan Institute of Metals
76
2
開始ページ134
終了ページ138
発行日2012
DOIinfo:doi/10.2320/jinstmet.76.134
関連情報URL(IsPartOf)http://www.jstage.jst.go.jp/browse/jinstmet/_vols/-char/ja
著者版/出版社版その他
リポジトリID2011010347
地域区分山口大学
URIhttp://www.lib.yamaguchi-u.ac.jp/yunoca/handle/2011010347