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タイトルDevelopment of ID-blade slicer monitoring system for cutting 12-inch silicon ingot
作成者Jiang, Zhongwei
Fujiwara, Shusuke
Chonan, Seiji
Kawashima, Kazuo
作成者ヨミコウ, ショウイ
フジワラ, シュウスケ
チョウナン, セイジ
カワシマ, カズオ
作成者別表記江, 鐘偉
長南, 征二
川嶋, 一夫
作成者所属山口大学大学院理工学研究科(工学)
本文言語eng
著者キーワードID saw blade
12inch wafer slicer
online monitoring system
資料タイプtext
出版者IOS Press
NII資料タイプ学術雑誌論文
査読の有無査読あり
ISSN1383-5416
NCIDAA11051133
掲載誌名International Journal of Applied Electromagnetics and Mechanics
15
1-4
開始ページ67
終了ページ72
発行日2001
著者版/出版社版その他
リポジトリID2010010202
地域区分山口大学
URIhttp://www.lib.yamaguchi-u.ac.jp/yunoca/handle/2010010202