| フルテキストURL | 2010010215.pdf ( 167.5KB ) 公開日 2011-07-21
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| タイトル | Development of ID-blade slicer monitoring system for cutting 12-inch silicon ingot |
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| 作成者 | Jiang, Zhongwei
Fujiwara, Shusuke
Chonan, Seiji
Kawashima, Kazuo
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| 作成者ヨミ | コウ, ショウイ
フジワラ, シュウスケ
チョウナン, セイジ
カワシマ, カズオ
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| 作成者別表記 | 江, 鐘偉
長南, 征二
川嶋, 一夫
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| 作成者所属 | 山口大学大学院理工学研究科（工学）
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| 本文言語 | eng
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| 資料タイプ | text |
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| ファイル形式 | application/pdf |
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| 出版者 | Japan Society of Applied Electromagnetics
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| NII資料タイプ | 会議発表論文 |
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| 掲載誌名 | Applied electromagnetism and mechanics |
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| 巻 | 9 |
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| 開始ページ | 539 |
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| 終了ページ | 540 |
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| 発行日 | 2001 |
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| 著者版/出版社版 | 出版社版 |
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| リポジトリID | 2010010215 |
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| 地域区分 | 山口大学
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| URI | http://www.lib.yamaguchi-u.ac.jp/yunoca/handle/2010010215 |
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