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フルテキストURL2010010215.pdf ( 167.5KB ) 公開日 2011-07-21
タイトルDevelopment of ID-blade slicer monitoring system for cutting 12-inch silicon ingot
作成者Jiang, Zhongwei
Fujiwara, Shusuke
Chonan, Seiji
Kawashima, Kazuo
作成者ヨミコウ, ショウイ
フジワラ, シュウスケ
チョウナン, セイジ
カワシマ, カズオ
作成者別表記江, 鐘偉
長南, 征二
川嶋, 一夫
作成者所属山口大学大学院理工学研究科(工学)
本文言語eng
資料タイプtext
ファイル形式application/pdf
出版者Japan Society of Applied Electromagnetics
NII資料タイプ会議発表論文
掲載誌名Applied electromagnetism and mechanics
9
開始ページ539
終了ページ540
発行日2001
著者版/出版社版出版社版
リポジトリID2010010215
地域区分山口大学
URIhttp://www.lib.yamaguchi-u.ac.jp/yunoca/handle/2010010215