フルテキストURL | 2010010215.pdf ( 167.5KB ) 公開日 2011-07-21
|
タイトル | Development of ID-blade slicer monitoring system for cutting 12-inch silicon ingot |
作成者 | Jiang, Zhongwei
Fujiwara, Shusuke
Chonan, Seiji
Kawashima, Kazuo
|
作成者ヨミ | コウ, ショウイ
フジワラ, シュウスケ
チョウナン, セイジ
カワシマ, カズオ
|
作成者別表記 | 江, 鐘偉
長南, 征二
川嶋, 一夫
|
作成者所属 | 山口大学大学院理工学研究科(工学)
|
本文言語 | eng
|
資料タイプ | text |
ファイル形式 | application/pdf |
出版者 | Japan Society of Applied Electromagnetics
|
NII資料タイプ | 会議発表論文 |
掲載誌名 | Applied electromagnetism and mechanics |
巻 | 9 |
開始ページ | 539 |
終了ページ | 540 |
発行日 | 2001 |
著者版/出版社版 | 出版社版 |
リポジトリID | 2010010215 |
地域区分 | 山口大学
|
URI | http://www.lib.yamaguchi-u.ac.jp/yunoca/handle/2010010215 |