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フルテキストURL2009010407.pdf ( 588.8KB ) 公開日 2010-04-16
タイトルActive control of a silicon-wafer slicer cutting a crystal ingot : effect on the deflection control of the air film stiffness between the blade and the ingot
作成者Masui, Keijiro
Chonan, Seiji
Jiang, Zhong-wei
作成者ヨミマスイ, ケイジロウ
チョウナン, セイジ
コウ, ショウイ
作成者別表記長南, 征二
江, 鐘偉
作成者所属山口大学大学院理工学研究科(工学)
内容記述(抄録等)Second International Conference on Motion and Vibration Control, Yokohma, Aug.30-Sept.3, 1994.
本文言語eng
資料タイプtext
ファイル形式application/pdf
出版者日本機械学会
出版者ヨミニホン キカイ ガッカイ
NII資料タイプ会議発表論文
NCIDAA11902354
掲載誌名Proceedings of the International Conference on Motion and Vibration Control
2nd
開始ページ52
終了ページ57
発行日1994
著者版/出版社版出版社版
リポジトリID2009010407
地域区分山口大学
URIhttp://www.lib.yamaguchi-u.ac.jp/yunoca/handle/2009010407