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タイトルFlatness control of a silicon-wafer slicing blade cutting the crystal ingot
作成者Chonan, Seiji
Masui, Keijiro
Jiang, Zhong-wei
作成者ヨミチョウナン, セイジ
マスイ, ケイジロウ
コウ, ショウイ
作成者別表記長南, 征二
江, 鐘偉
作成者所属山口大学大学院理工学研究科(工学)
内容記述(抄録等)Asia-Pacific Vibration Conference '93, held at the Kitakyushu International Conference Center, November 14-18, 1993.
本文言語eng
資料タイプtext
NII資料タイプ会議発表論文
掲載誌名Proceedings of the Asia-Pacific Vibration Conference
2
開始ページ1227
終了ページ1232
発行日1993
著者版/出版社版その他
リポジトリID2009010405
地域区分山口大学
URIhttp://www.lib.yamaguchi-u.ac.jp/yunoca/handle/2009010405