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フルテキストURL2009010404.pdf ( 485.1KB ) 公開日 2010-04-16
タイトルVibration and deflection of a silicon-wafer slicer cutting the crystal ingot
作成者Chonan, Seiji
Jiang, Zhong-wei
Yuki, Yasuhiro
作成者ヨミチョウナン, セイジ
コウ, ショウイ
ユウキ, ヤスヒロ
作成者別表記長南, 征二
江, 鐘偉
作成者所属山口大学大学院理工学研究科(工学)
内容記述(抄録等)First International Conference on Motion and Vibration Control, held at the Pacific Convention Plaza Yokohma (Pacifico Yokohama), 7-11 September, 1992.
本文言語eng
著者キーワードvibration
deflecton
silicon-wafer slicer
crystal ingot
資料タイプtext
ファイル形式application/pdf
出版者日本機械学会
出版者ヨミニホン キカイ ガッカイ
NII資料タイプ会議発表論文
NCIDAA11902354
掲載誌名Proceedings of the International Conference on Motion and Vibration Control
開始ページ443
終了ページ448
発行日1992
著者版/出版社版出版社版
リポジトリID2009010404
地域区分山口大学
URIhttp://www.lib.yamaguchi-u.ac.jp/yunoca/handle/2009010404