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フルテキストURL2009010397.pdf ( 516.5KB ) 公開日 2010-04-16
タイトルWarp control of a silicon-wafer slicer cutting a crystal ingot
作成者Masui, K.
Chonan, S.
Jiang, Z. W.
作成者ヨミチョウナン, セイジ
コウ, ショウイ
作成者別表記長南, 征二
江, 鐘偉
作成者所属山口大学大学院理工学研究科(工学)
内容記述(抄録等)Chiba, 1-6 September, 1996.
本文言語eng
資料タイプtext
ファイル形式application/pdf
出版者日本機械学会
出版者ヨミニホン キカイ ガッカイ
NII資料タイプ会議発表論文
NCIDBA91385466
掲載誌名Proceedings the international conference on motion and vibration control
3rd
開始ページ238
終了ページ243
発行日1996
著者版/出版社版出版社版
リポジトリID2009010397
地域区分山口大学
URIhttp://www.lib.yamaguchi-u.ac.jp/yunoca/handle/2009010397