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フルテキストURL2009010282.pdf ( 666.2KB ) 公開日 2010-10-08
タイトルECRスパッタ法で作成したCo-Cr膜の微細構造
タイトルヨミECRスパッタホウ デ サクセイシタ Co-Crマク ノ ビサイ コウゾウ
タイトル別表記Microstructure of Co-Cr films prepared by ECR sputtering
作成者中村, 哲也
山本, 節夫
佐藤, 王高
金丸, 展大
栗巣, 普揮
松浦, 満
廣野, 滋
作成者ヨミナカムラ, テツヤ
ヤマモト, セツオ
サトウ, キミタカ
カナマル, ノブヒロ
クリス, ヒロキ
マツウラ, ミツル
ヒロノ, シゲル
作成者別表記Nakamura, T.
Yamamoto, S.
Sato, K.
Kanamaru, N.
Kurisu, H.
Matsuura, M.
Hirono, S.
作成者所属山口大学大学院理工学研究科(工学)
本文言語jpn
資料タイプtext
ファイル形式application/pdf
出版者日本応用磁気学会
出版者ヨミニホン オウヨウ ジキ ガッカイ
NII資料タイプ会議発表論文
ISSN1340-8100
NCIDAN10269644
掲載誌名日本応用磁気学会学術講演概要集
21
開始ページ160
発行日1997
権利関係Copyright : 日本応用磁気学会 (The Magnetics Society of Japan)
著者版/出版社版出版社版
備考非売品
リポジトリID2009010282
地域区分山口大学
URIhttp://www.lib.yamaguchi-u.ac.jp/yunoca/handle/2009010282