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フルテキストURL2009010279.pdf ( 137.4KB ) 公開日 2010-10-08
タイトル誘導結合型プラズマ支援マグネトロンスパッタ法によるCo-Cr膜の作成 : 基板バイアスの効果
タイトルヨミユウドウケツゴウガタ プラズマ シエン マグネトロン スパッタホウ ニヨル Co-Crマク ノ サクセイ : キバン バイアス ノ コウカ
タイトル別表記Preparation of Co-Cr films using magnetron sputtering assisted by inductively coupled rf plasma
作成者林, 利彦
山本, 節夫
山時, 照章
栗巣, 普揮
松浦, 満
作成者ヨミハヤシ, トシヒコ
ヤマモト, セツオ
クリス, ヒロキ
マツウラ, ミツル
作成者別表記Hayashi, T.
Yamamoto, S.
Santoki, T.
Kurisu, H.
Matsuura, M.
作成者所属山口大学大学院理工学研究科(工学)
本文言語jpn
資料タイプtext
ファイル形式application/pdf
出版者日本応用磁気学会
出版者ヨミニホン オウヨウ ジキ ガッカイ
NII資料タイプ会議発表論文
ISSN1340-8100
NCIDAN10269644
掲載誌名日本応用磁気学会学術講演概要集
21
開始ページ159
発行日1997
権利関係Copyright : 日本応用磁気学会 (The Magnetics Society of Japan)
著者版/出版社版出版社版
備考非売品
リポジトリID2009010279
地域区分山口大学
URIhttp://www.lib.yamaguchi-u.ac.jp/yunoca/handle/2009010279