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フルテキストURL2009010299.pdf ( 901.5KB ) 公開日 2010-10-25
タイトルICPプラズマ支援マグネトロンスパッタ法で作成したCo-Cr薄膜の磁気特性
タイトルヨミICP プラズマ シエン マグネトロン スパッタホウ デ サクセイシタ Co-Crハクマク ノ ジキ トクセイ
タイトル別表記Magnetic properties of Co-Cr films prepared by ICP assisted magnetron sputtering
作成者林, 利彦
山本, 節夫
栗巣, 普揮
松浦, 満
作成者ヨミハヤシ, トシヒコ
ヤマモト, セツオ
クリス, ヒロキ
マツウラ, ミツル
作成者別表記Hayashi, Toshihiko
Yamamoto, Setsuo
Kurisu, Hiroki
Matsuura, Mitsuru
作成者所属山口大学大学院理工学研究科(工学)
本文言語jpn
資料タイプtext
ファイル形式application/pdf
出版者映像情報メディア学会
出版者ヨミエイゾウ ジョウホウ メディア ガッカイ
NII資料タイプ会議発表論文
ISSN1343-1846
NCIDAA11395540
掲載誌名映像情報メディア学会年次大会講演予稿集
開始ページ106
発行日1997
著者版/出版社版出版社版
リポジトリID2009010299
地域区分山口大学
URIhttp://www.lib.yamaguchi-u.ac.jp/yunoca/handle/2009010299