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フルテキストURL2009010271.pdf ( 504.6KB ) 公開日 2010-10-08
タイトルECRスパッタ法を用いたCo-Cr垂直磁気異方性膜の作成 : 磁界分布による物性制御
タイトルヨミECRスパッタホウ オ モチイタ Co-Cr スイチョク ジキ イホウセイマク ノ サクセイ : ジカイ ブンプ ニヨル ブッセイ セイギョ
タイトル別表記Preparation of Co-Cr films using electron cyclotron resonance microwave plasma : control by magnetic field
作成者佐藤, 王高
山本, 節夫
栗巣, 普揮
松浦, 満
廣野, 滋
作成者ヨミサトウ, キミタカ
ヤマモト, セツオ
クリス, ヒロキ
マツウラ, ミツル
ヒロノ, シゲル
作成者別表記Sato, K.
Yamamoto, S.
Kurisu, H.
Matsuura, M.
Hirono, S.
作成者所属山口大学大学院理工学研究科(工学)
本文言語jpn
資料タイプtext
ファイル形式application/pdf
出版者日本応用磁気学会
出版者ヨミニホン オウヨウ ジキ ガッカイ
NII資料タイプ会議発表論文
ISSN1340-8100
NCIDAN10269644
掲載誌名日本応用磁気学会学術講演概要集
20
開始ページ237
発行日1996
権利関係Copyright : 日本応用磁気学会 (The Magnetics Society of Japan)
著者版/出版社版出版社版
備考非売品
リポジトリID2009010271
地域区分山口大学
URIhttp://www.lib.yamaguchi-u.ac.jp/yunoca/handle/2009010271