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フルテキストURL2009010358.pdf ( 3.1MB ) 公開日 2011-09-27
タイトルECRスパッタ法を用いたCo-Cr垂直磁気異方性膜の作成 : 成膜室内の磁界分布による磁気的微細構造の制御
タイトルヨミECR スパッタホウ オ モチイタ Co-Cr スイチョク ジキ イホウセイマク ノ サクセイ : セイマクシツナイ ノ ジカイ ブンプ ニヨル ジキテキ ビサイコウゾウ ノ セイギョ
作成者山本, 節夫
佐藤, 王高
栗巣, 普揮
松浦, 満
前田, 安
廣野, 滋
作成者ヨミヤマモト, セツオ
サトウ, キミタカ
クリス, ヒロキ
マツウラ, ミツル
ヒロノ, シゲル
作成者所属山口大学大学院理工学研究科(工学)
本文言語jpn
資料タイプtext
ファイル形式application/pdf
NII資料タイプ会議発表論文
掲載誌名日本学術振興会磁気記録第144委員会研究会資料
122
開始ページ1
終了ページ5
著者版/出版社版出版社版
リポジトリID2009010358
地域区分山口大学
URIhttp://www.lib.yamaguchi-u.ac.jp/yunoca/handle/2009010358