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タイトルECRスパッタ法によるCo-Cr-Ta/Ti垂直磁気ディスク作製 : マイクロ波電力による物性制御
タイトルヨミECR スパッタホウ ニヨル Co-Cr-Ta/Ti スイチョク ジキ ディスク サクセイ マイクロハ デンリョク ニヨル ブッセイ セイギョ
タイトル別表記Preparation of Co-Cr-Ta/Ti perpendicular magnetic recording disk using ECR-sputter-deposition
作成者池田, 朋広
山本, 節夫
平田, 京
栗巣, 普揮
松浦, 満
作成者ヨミイケダ, トモヒロ
ヤマモト, セツオ
ヒラタ, ケイ
クリス, ヒロキ
マツウラ, ミツル
作成者別表記Yamamoto, Setsuo
Kurisu, Hiroki
作成者所属山口大学大学院理工学研究科(工学)
内容記述(抄録等)電子サイクロトロン共鳴マイクロ波プラズマを利用したスパッタ成膜装置(ECRスパッタ装置)において、独自のパラメータであるマイクロ波電力に着目し、これを活用してCo-Cr-Ta/Ti垂直磁気ディスクの高性能化を試みた。プラズマ生成室に投入するマイクロ波電力を増加させると、生成されるプラズマ密度が増加し、成膜速度を高まること、成膜中に基板を照射するArイオンの量が増加することが明らかになった。Co-Cr-Ta膜の作製において、マイクロ波パワーを成膜初期には高パワーとし、途中からは低パワーに変更するという制御を行うことによって、グレインが微細で、磁気特性および記録特性に優れた垂直磁気ディスクをパワー一定とした従来よりも高速に作製できることを見出した。
本文言語jpn
著者キーワード電子サイクロトロン共鳴
ECRスパッタ法
Co-Cr-Ta
垂直磁気記録
磁気ディスク
資料タイプtext
出版者電子情報通信学会
出版者ヨミデンシ ジョウホウ ツウシン ガッカイ
NII資料タイプ学術雑誌論文
査読の有無査読あり
ISSN0913-5685
NCIDAN10013050
掲載誌名電子情報通信学会技術研究報告. MR, 磁気記録
掲載誌名別表記IEICE technical report. Magnetic recording
99
572
開始ページ1
終了ページ8
発行日2000-01-20
関連情報URL(HasVersion)http://ci.nii.ac.jp/naid/110003225853/
関連情報URL(IsPartOf)http://ci.nii.ac.jp/vol_issue/nels/AN10013050_jp.html
著者版/出版社版その他
リポジトリID2008010336
地域区分山口大学
URIhttp://www.lib.yamaguchi-u.ac.jp/yunoca/handle/2008010336