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フルテキストURL2009010324.pdf ( 2.7MB ) 公開日 2010-05-25
タイトル量産対応型ECRスパッタ装置によるフェライト薄膜の低温高速製造技術の開発
タイトルヨミリョウサン タイオウガタ ECRスパッタ ソウチ ニヨル フェライト ハクマク ノ テイオン コウソク セイゾウ ギジュツ ノ カイハツ
タイトル別表記Development of low-temperature and high-rate-deposition technology for ferrite thin-films using ECR sputtering apparatus designed for mass production
作成者山本, 節夫
松浦, 満
岡田, 繁信
下里, 義博
作成者ヨミヤマモト, セツオ
マツウラ, ミツル
オカダ, シゲノブ
シモサト, ヨシヒロ
作成者別表記Yamamoto, Setsuo
Matsuura, Mitsuru
Okada, Shigenobu
Shimosato, Yoshihiro
作成者所属山口大学大学院理工学研究科(工学)
本文言語jpn
著者キーワードECR
electron cyclotron resonance
sputtering
reactive sputtering
ferrite
資料タイプtext
ファイル形式application/pdf
出版者粉体粉末冶金協会
出版者ヨミフンタイ フンマツ ヤキン キョウカイ
NII資料タイプ学術雑誌論文
査読の有無査読あり
ISSN0532-8799
NCIDAN00222724
掲載誌名粉体および粉末冶金
53
8
開始ページ679
終了ページ685
発行日2006-08
DOIinfo:doi/10.2497/jjspm.53.679
関連情報URL(IsPartOf)http://www.journalarchive.jst.go.jp/japanese/top_ja.php
著者版/出版社版出版社版
リポジトリID2009010324
地域区分山口大学
URIhttp://www.lib.yamaguchi-u.ac.jp/yunoca/handle/2009010324