| フルテキストURL | 2009010324.pdf ( 2.7MB ) 公開日 2010-05-25
|
|---|
| タイトル | 量産対応型ECRスパッタ装置によるフェライト薄膜の低温高速製造技術の開発 |
|---|
| タイトルヨミ | リョウサン タイオウガタ ECRスパッタ ソウチ ニヨル フェライト ハクマク ノ テイオン コウソク セイゾウ ギジュツ ノ カイハツ
|
|---|
| タイトル別表記 | Development of low-temperature and high-rate-deposition technology for ferrite thin-films using ECR sputtering apparatus designed for mass production
|
|---|
| 作成者 | 山本, 節夫
松浦, 満
岡田, 繁信
下里, 義博
|
|---|
| 作成者ヨミ | ヤマモト, セツオ
マツウラ, ミツル
オカダ, シゲノブ
シモサト, ヨシヒロ
|
|---|
| 作成者別表記 | Yamamoto, Setsuo
Matsuura, Mitsuru
Okada, Shigenobu
Shimosato, Yoshihiro
|
|---|
| 作成者所属 | 山口大学大学院理工学研究科（工学）
|
|---|
| 本文言語 | jpn
|
|---|
| 著者キーワード | ECR
electron cyclotron resonance
sputtering
reactive sputtering
ferrite
|
|---|
| 資料タイプ | text |
|---|
| ファイル形式 | application/pdf |
|---|
| 出版者 | 粉体粉末冶金協会
|
|---|
| 出版者ヨミ | フンタイ フンマツ ヤキン キョウカイ
|
|---|
| NII資料タイプ | 学術雑誌論文 |
|---|
| 査読の有無 | 査読あり |
|---|
| ISSN | 0532-8799
|
|---|
| NCID | AN00222724
|
|---|
| 掲載誌名 | 粉体および粉末冶金 |
|---|
| 巻 | 53 |
|---|
| 号 | 8 |
|---|
| 開始ページ | 679 |
|---|
| 終了ページ | 685 |
|---|
| 発行日 | 2006-08 |
|---|
| DOI | info:doi/10.2497/jjspm.53.679 |
|---|
| 関連情報URL(IsPartOf) | http://www.journalarchive.jst.go.jp/japanese/top_ja.php
|
|---|
| 著者版/出版社版 | 出版社版 |
|---|
| リポジトリID | 2009010324 |
|---|
| 地域区分 | 山口大学
|
|---|
| URI | http://www.lib.yamaguchi-u.ac.jp/yunoca/handle/2009010324 |
|---|