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フルテキストURL2009010229.pdf ( 2.2MB ) 公開日 2010-11-30
タイトルHigh rate and low-temperature sputter-deposition of Ni-Zn ferrite thin-films
作成者Ogita, Tomoharu
Yamamoto, Setsuo
Isida, Gen
Kurisu, Hiroki
Matsuura, Mitsuru
Shimosato, Yoshihiro
Okada, Shigenobu
作成者ヨミオギタ, トモハル
ヤマモト, セツオ
イシダ, ゲン
クリス, ヒロキ
マツウラ, ミツル
シモサト, ヨシヒロ
オカダ, シゲノブ
作成者別表記山本, 節夫
栗巣, 普揮
松浦, 満
作成者所属山口大学大学院理工学研究科(工学)
本文言語eng
著者キーワードECR sputtering
Ni-Zn ferrite
ferrite thin-film
high deposition rate
low temperature sputtering
資料タイプtext
ファイル形式application/pdf
出版者Materials Resarch society of Japan
NII資料タイプ学術雑誌論文
査読の有無査読あり
ISSN1382-3469
NCIDAA10850652
掲載誌名Transactions of the Materials Research Society of Japan
29
4
開始ページ1631
終了ページ1634
発行日2004
権利関係(C)The Materials Resarch society of Japan(日本MRS)
著者版/出版社版出版社版
リポジトリID2009010229
地域区分山口大学
URIhttp://www.lib.yamaguchi-u.ac.jp/yunoca/handle/2009010229