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タイトル反応性電子サイクロトロン共鳴(ECR)スパッタ法によるフェライト薄膜の低温高速作製
タイトルヨミハンノウセイ デンシ サイクロトロン キョウメイ ECR スパッタホウ ニヨル フェライト ハクマク ノ テイオン コウソク サクセイ
タイトル別表記Low temperature and high rate deposition of ferrite thin films by reactive sputtering method using electron cyclotron resonance
作成者田中, 輝光
大城, 和宣
藤森, 宏高
栗巣, 普揮
下里, 義博
岡田, 繁信
松浦, 満
山本, 節夫
作成者ヨミタナカ, テルミツ
オオシロ, カズノリ
フジモリ, ヒロタカ
クリス, ヒロキ
シモサト, ヨシヒロ
オカダ, シゲノブ
マツウラ, ミツル
ヤマモト, セツオ
作成者別表記Tanaka, Terumitsu
Oshiro, Kazunori
Fujimori, Hirotaka
Kurisu, Hiroki
Shimosato, Yoshihiro
Okada, Shigenobu
Matsuura, Mitsuru
Yamamoto, Setsuo
作成者所属山口大学大学院理工学研究科(工学)
本文言語jpn
資料タイプtext
出版者日本真空協会
出版者ヨミニホン シンクウ キョウカイ
NII資料タイプ学術雑誌論文
査読の有無査読あり
ISSN0559-8516
NCIDAN00119871
掲載誌名真空
49
7
開始ページ424
終了ページ429
発行日2006
関連情報URL(IsPartOf)http://www.jstage.jst.go.jp/browse/jvsj/-char/ja/
著者版/出版社版その他
リポジトリID2009010327
地域区分山口大学
URIhttp://www.lib.yamaguchi-u.ac.jp/yunoca/handle/2009010327