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フルテキストURL2009010361.pdf ( 2.2MB ) 公開日 2012-09-28
タイトルプラズマを活用してのフェライト薄膜の低温製造技術
タイトルヨミプラズマ オ カツヨウシテノ フェライト ハクマク ノ テイオン セイゾウ ギジュツ
タイトル別表記Low temperature preparation of ferrite thin-films using ECR plasma
作成者山本, 節夫
栗巣, 普揮
松浦, 満
作成者ヨミヤマモト, セツオ
クリス, ヒロキ
マツウラ, ミツル
作成者別表記Yamamoto, Setsuo
Kurisu, Hiroki
Matsuura, Mitsuru
作成者所属山口大学大学院理工学研究科(工学)
内容記述(抄録等)平成12年度東北大学電気通信研究所 「共同プロジェクト研究会 H11-B01, マイクロ磁気システムの研究」工学研究会スピニクス研究会合同研究会資料集, 東北大学電気通信研究所, (Feb. 8-9, 2001).
本文言語jpn
資料タイプtext
ファイル形式application/pdf
出版者東北大学電気通信研究所
出版者ヨミトウホク ダイガク デンキ ツウシン ケンキュウジョ
NII資料タイプ会議発表論文
NCIDAN10442501
掲載誌名東北大学電気通信研究所工学研究会スピニクス研究会活動報告書
平成5年度
開始ページ11
終了ページ15
発行日2001
著者版/出版社版出版社版
リポジトリID2009010361
地域区分山口大学
URIhttp://www.lib.yamaguchi-u.ac.jp/yunoca/handle/2009010361