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フルテキストURLKJ00000156781.pdf ( 577.2KB ) 公開日 2010-04-19
タイトル磁気フィルターによるバケット型プラズマ源内のプラズマパラメータの制御
タイトルヨミジキ フィルター ニヨル バケットガタ プラズマゲンナイ ノ プラズマ パラメータ ノ セイギョ
タイトル別表記Controll of Plasma Parameters in a Magnetically Filtered Multicusp Source
作成者繁山, 直樹
水野, 仁志
渡部, 健二
崎山, 智司
福政, 修
作成者ヨミシゲヤマ, ナオキ
ミズノ, ヒトシ
ワタナベ, ケンジ
サキヤマ, サトシ
フクマサ, オサム
作成者別表記Shigeyama, Naoki
Mizumo, Hitoshi
Watanabe, Kenji
Sakiyama, Satoshi
Fukumasa, Osamu
作成者所属山口大学工学部
内容記述(抄録等)The technique to control plasma parameters spatially, especially energy distribution and density of electrons, is studied experimentally with magnetically filtered multicusp source. We have found that plasma parameters vary across the filter abruptly. Namely, magnetic filter field devides plasma volume into two regions, i.e. source plasma region and diffused plasma region. The source plasma is high density and high temperature plasma with fast electrons. The diffused plasma is low density and low temperature plasma, because filter field allows the passage of only low-energy electrons to this region. For different two gas species (H_2,Ar) and for various gas pressures (0.6&acd;6×(10)^<-3> Torr), the same filter effect mentioned above appears remarkably. Besides these, as an example of controlling plasma with the use of magnetic filter, we confirm that extracted H^- current is enhanced when the magnetic filter is close to the extraction plate.
本文言語jpn
主題電気電子工学
資料タイプtext
ファイル形式application/pdf
出版者山口大学工学部
出版者ヨミヤマグチ ダイガク コウガクブ
NII資料タイプ紀要論文
ISSN0372-7661
NCIDAN00244228
学内刊行物(紀要等)山口大学工学部研究報告
掲載誌名山口大学工学部研究報告
掲載誌名別表記Memoirs of the Faculty of Engineering, Yamaguchi University
40
1
開始ページ213
終了ページ222
発行日1989-10
著者版/出版社版出版社版
備考本文データは国立情報学研究所において電子化したものである
リポジトリIDKJ00000156781
地域区分山口大学
URIhttp://www.lib.yamaguchi-u.ac.jp/yunoca/handle/KJ00000156781