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タイトル超高真空蒸着装置 : 清浄真空下における薄膜新材料・デバイスの作製
タイトルヨミチョウコウ シンクウ ジョウチャク ソウチ : セイジョウ シンクウカ ニオケル ハクマク シンザイリョウ デバイス ノ サクセイ
作成者中山, 則昭
諸橋, 信一
原田, 直幸
作成者ヨミナカヤマ, ノリアキ
モロハシ, シンイチ
ハラダ, ナオユキ
作成者所属山口大学工学部
本文言語jpn
資料タイプtext
出版者山口大学ベンチャービジネスラボラトリー
出版者ヨミヤマグチ ダイガク ベンチャー ビジネス ラボラトリー
NII資料タイプ研究報告書
学内刊行物(紀要等)山口大学ベンチャービジネスラボラトリー年報
掲載誌名山口大学ベンチャービジネスラボラトリー年報
7
開始ページ56
終了ページ56
発行日2003
著者版/出版社版その他
リポジトリIDD530007000027
地域区分山口大学
URIhttp://www.lib.yamaguchi-u.ac.jp/yunoca/handle/D530007000027