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タイトル特殊高圧ガス消費設備 : ガスを原料とした半導体薄膜の作製
タイトルヨミトクシュ コウアツガス ショウヒ セツビ : ガス オ ゲンリョウトシタ ハンドウタイ ハクマク ノ サクセイ
作成者荻原, 千聡
作成者ヨミオギハラ, チサト
作成者所属山口大学工学部
本文言語jpn
資料タイプtext
出版者山口大学ベンチャービジネスラボラトリー
出版者ヨミヤマグチ ダイガク ベンチャー ビジネス ラボラトリー
NII資料タイプ研究報告書
学内刊行物(紀要等)山口大学ベンチャービジネスラボラトリー年報
掲載誌名山口大学ベンチャービジネスラボラトリー年報
8
開始ページ64
終了ページ64
発行日2004
著者版/出版社版その他
リポジトリIDD530008000041
地域区分山口大学
URIhttp://www.lib.yamaguchi-u.ac.jp/yunoca/handle/D530008000041