フルテキストURL | フルテキストリンクなし |
タイトル | 反応性ECRスパッタ法で作製したCo含有酸化鉄薄膜メディアのプラズマ酸化処理効果 |
タイトルヨミ | ハンノウセイ ECR スパッタホウ デ サクセイ シタ Co バンユウ サンカテツ ハクマク メディア ノ プラズマ サンカ ショリ コウカ
|
タイトル別表記 | Plasma oxidation effects of co-containing ferrite thin film media deposited by reactive ECR sputtering
|
作成者 | 山本, 節夫
平田, 京
和田, 宏文
栗巣, 普揮
松浦, 満
土井, 孝紀
田万里, 耕作
|
作成者ヨミ | ヤマモト, セツオ
ヒラタ, ケイ
クリス, ヒロキ
マツウラ, ミツル
ドイ, タカノリ
タマリ, コウサク
|
作成者別表記 | Yamamoto, Setsuo
Kurisu, Hiroki
|
作成者所属 | 山口大学大学院理工学研究科(工学)
|
内容記述(抄録等) | The post-oxidation effects of reactive-ECR-sputtered Co-containing ferrite thin films are described, focusing on their morphology and their magnetic and recording properties. A combination of reactive-ECR-sputter deposition and post-oxidation with ECR oxygen plasma was proved to be the best method for preparing Co-containing ferrite thin film media with good magnetic properties, smooth surface, low medium-noise characteristics, excellent roll-off curve, and small thermal fluctuation.
|
本文言語 | jpn
|
著者キーワード | Co-containing ferrite thin film media
reactive ECR sputtering
perpendicular magnetic recording
recording media
plasma oxidation
|
資料タイプ | text |
出版者 | 日本応用磁気学会
|
出版者ヨミ | ニホン オウヨウ ジキ ガッカイ
|
NII資料タイプ | 学術雑誌論文 |
査読の有無 | 査読あり |
ISSN | 0285-0192
|
NCID | AN0031390X
|
掲載誌名 | 日本応用磁気学会誌 |
掲載誌名別表記 | Journal of Magnetics Society of Japan |
巻 | 26 |
号 | 4 |
開始ページ | 263 |
終了ページ | 268 |
発行日 | 2002 |
DOI | info:doi/10.3379/jmsjmag.26.263 |
関連情報URL(IsPartOf) | http://www.wdc-jp.com/msj/journal/index.html
|
著者版/出版社版 | その他 |
リポジトリID | 2008010352 |
地域区分 | 山口大学
|
URI | http://www.lib.yamaguchi-u.ac.jp/yunoca/handle/2008010352 |