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タイトル反応性ECRスパッタ法で作製したCo含有酸化鉄薄膜メディアのプラズマ酸化処理効果
タイトルヨミハンノウセイ ECR スパッタホウ デ サクセイ シタ Co バンユウ サンカテツ ハクマク メディア ノ プラズマ サンカ ショリ コウカ
タイトル別表記Plasma oxidation effects of co-containing ferrite thin film media deposited by reactive ECR sputtering
作成者山本, 節夫
平田, 京
和田, 宏文
栗巣, 普揮
松浦, 満
土井, 孝紀
田万里, 耕作
作成者ヨミヤマモト, セツオ
ヒラタ, ケイ
クリス, ヒロキ
マツウラ, ミツル
ドイ, タカノリ
タマリ, コウサク
作成者別表記Yamamoto, Setsuo
Kurisu, Hiroki
作成者所属山口大学大学院理工学研究科(工学)
内容記述(抄録等)The post-oxidation effects of reactive-ECR-sputtered Co-containing ferrite thin films are described, focusing on their morphology and their magnetic and recording properties. A combination of reactive-ECR-sputter deposition and post-oxidation with ECR oxygen plasma was proved to be the best method for preparing Co-containing ferrite thin film media with good magnetic properties, smooth surface, low medium-noise characteristics, excellent roll-off curve, and small thermal fluctuation.
本文言語jpn
著者キーワードCo-containing ferrite thin film media
reactive ECR sputtering
perpendicular magnetic recording
recording media
plasma oxidation
資料タイプtext
出版者日本応用磁気学会
出版者ヨミニホン オウヨウ ジキ ガッカイ
NII資料タイプ学術雑誌論文
査読の有無査読あり
ISSN0285-0192
NCIDAN0031390X
掲載誌名日本応用磁気学会誌
掲載誌名別表記Journal of Magnetics Society of Japan
26
4
開始ページ263
終了ページ268
発行日2002
DOIinfo:doi/10.3379/jmsjmag.26.263
関連情報URL(IsPartOf)http://www.wdc-jp.com/msj/journal/index.html
著者版/出版社版その他
リポジトリID2008010352
地域区分山口大学
URIhttp://www.lib.yamaguchi-u.ac.jp/yunoca/handle/2008010352