| フルテキストURL | フルテキストリンクなし |
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| タイトル | 反応性ECRスパッタ法で作製したCo含有酸化鉄薄膜メディアのプラズマ酸化処理効果 |
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| タイトルヨミ | ハンノウセイ ECR スパッタホウ デ サクセイ シタ Co バンユウ サンカテツ ハクマク メディア ノ プラズマ サンカ ショリ コウカ
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| タイトル別表記 | Plasma oxidation effects of co-containing ferrite thin film media deposited by reactive ECR sputtering
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| 作成者 | 山本, 節夫
平田, 京
和田, 宏文
栗巣, 普揮
松浦, 満
土井, 孝紀
田万里, 耕作
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| 作成者ヨミ | ヤマモト, セツオ
ヒラタ, ケイ
クリス, ヒロキ
マツウラ, ミツル
ドイ, タカノリ
タマリ, コウサク
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| 作成者別表記 | Yamamoto, Setsuo
Kurisu, Hiroki
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| 作成者所属 | 山口大学大学院理工学研究科（工学）
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| 内容記述（抄録等） | The post-oxidation effects of reactive-ECR-sputtered Co-containing ferrite thin films are described, focusing on their morphology and their magnetic and recording properties. A combination of reactive-ECR-sputter deposition and post-oxidation with ECR oxygen plasma was proved to be the best method for preparing Co-containing ferrite thin film media with good magnetic properties, smooth surface, low medium-noise characteristics, excellent roll-off curve, and small thermal fluctuation.
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| 本文言語 | jpn
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| 著者キーワード | Co-containing ferrite thin film media
reactive ECR sputtering
perpendicular magnetic recording
recording media
plasma oxidation
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| 資料タイプ | text |
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| 出版者 | 日本応用磁気学会
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| 出版者ヨミ | ニホン オウヨウ ジキ ガッカイ
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| NII資料タイプ | 学術雑誌論文 |
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| 査読の有無 | 査読あり |
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| ISSN | 0285-0192
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| NCID | AN0031390X
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| 掲載誌名 | 日本応用磁気学会誌 |
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| 掲載誌名別表記 | Journal of Magnetics Society of Japan |
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| 巻 | 26 |
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| 号 | 4 |
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| 開始ページ | 263 |
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| 終了ページ | 268 |
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| 発行日 | 2002 |
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| DOI | info:doi/10.3379/jmsjmag.26.263 |
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| 関連情報URL(IsPartOf) | http://www.wdc-jp.com/msj/journal/index.html
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| 著者版/出版社版 | その他 |
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| リポジトリID | 2008010352 |
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| 地域区分 | 山口大学
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| URI | http://www.lib.yamaguchi-u.ac.jp/yunoca/handle/2008010352 |
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